产地及技术参数:
美国   WS-650MZ-23NPPB
腔体尺寸:241 mm
Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料，
方片125x125mm，小于10mm提供3mm的转接托盘
转动速度:0-12,000rpm
旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载)
马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%
转速调节精度:<0.2rpm，重复性< 0.2rpm
工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度
匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质
高精度数码控制器:PLC控制
程序控制:可存储20个程序段
分辨率:分辨率小于0.5转/分