产地及技术参数:中国北京 JS-1600靶(上部电极):直径:50mm，厚度:0.12mm真空室:直径:160mm，高:120mm样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm离子电流表:最大电流:50mA定时器:最长时间:900s最高电压:-1600V机械泵:2升/秒外形尺寸:360*300*380