技术参数：
工作腔室：150mm内径 x 127mm高
触摸屏全图像用户界面
样品台：标配旋转台
真空系统：
涡轮分子泵：带有空气冷却的涡轮分子泵
旋转机械泵：双级旋转机械泵
溅射电流：0-150mA；可预设膜厚（需FTM选项）或使用内置定时器
溅射时间：最长60分钟
碳蒸发：稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发，确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。
金属蒸发/光阑清洁头：用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。
尺寸和重量：仪器机箱：585mm宽x 470mm长 x 410mm高 （总高: 650mm）
仪器总重量：33.4Kg